Combinatorial sputtering in planetary type systems for alloy libraries with perpendicular gradients of layer thickness and composition realised by a timing approach

Autor(en):

Ruppelt, N.; Vavra, O.; Sickinger, H.; Goldobin, E.; Koelle, D.; Kleiner, R.; Kohlstedt, H.

Tübinger Autor(en):

Erschienen in:

Applied Physics A - Materials Science & Processing (2014), Bd. 116, H. 1, S. 229-232

Verlagsangabe:

Springer

Sprache:

Englisch

Referenz zum Volltext:

ISSN:

0947-8396

DDC-Klassifikation:

530 - Physik
600 - Technik

Dokumentart:

Wissenschaftlicher Artikel

Das Dokument erscheint in: