Theoretische und experimentelle Arbeiten zu Monochromatoren für die Elektronenmikroskopie

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dc.contributor.advisor Plies, Erich (Prof. Dr.) de_DE
dc.contributor.author Bärtle, Jan de_DE
dc.date.accessioned 2008-10-09 de_DE
dc.date.accessioned 2014-03-18T10:19:14Z
dc.date.available 2008-10-09 de_DE
dc.date.available 2014-03-18T10:19:14Z
dc.date.issued 2008 de_DE
dc.identifier.other 286722895 de_DE
dc.identifier.uri http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:21-opus-35867 de_DE
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10900/49217
dc.description.abstract Der Einfluss des Farbfehlers auf die Auflösung heutiger Rasterelektronenmikroskope und Transmissionselektronenmikroskope kann mithilfe eines Monochromators für Elektronen verringert werden. Im ersten Teil der Arbeit werden Energiebreitenmessungen an einem elektrostatischen Monochromator, bestehend aus vier Halbkugelkondensatoren, vorgestellt. Bei einer Elektronenenergie von 3 keV gelingt es, die intrinsische Energiebreite eines ZrO/W-Schottky-Emitters von 0.7 eV auf 0.2 eV zu reduzieren. Im zweiten Teil der Arbeit wird ein neuartiger Monochromator vorgestellt. Er bestehend aus vier, teilweise gegeneinander verdreht arrangierten Wien-Filter-Elementen. Der Vorzug eines solchen Systems besteht in seiner geraden optischen Achse, welche die Justage des Systems erheblich erleichtert. de_DE
dc.description.abstract The impact of the chromatic aberration on the resolution of nowadays scanning electron microscopes and transmission electron microscopes can be reduced by means of an electron monochromator. The first part of this thesis presents energy width measurements obtained using an electrostatic monochromator consisting of four hemispherical condensers. At 3 keV electron energy, the intrinsic energy width of a ZrO/W-Schottky-emitter was reduced from 0.7 eV down to 0.2 eV. The second part introduces a novel monochromator. It consists of four, partially rotated Wien-Filter components. The advance of such a system is its straight optical axis, which simplifies the alignment of the overall system. en
dc.language.iso de de_DE
dc.publisher Universität Tübingen de_DE
dc.rights ubt-podok de_DE
dc.rights.uri http://tobias-lib.uni-tuebingen.de/doku/lic_mit_pod.php?la=de de_DE
dc.rights.uri http://tobias-lib.uni-tuebingen.de/doku/lic_mit_pod.php?la=en en
dc.subject.classification Elektronenoptik , Rasterelektronenmikroskop , Monochromator , Coulomb-Wechselwirkung de_DE
dc.subject.ddc 530 de_DE
dc.subject.other Elektrostatische Transferlinse , Elektrostatischer Kugelkondensator, Wien Filter Monochromator de_DE
dc.subject.other Electrostatic transfer lens , Electrostatic hemispherical condenser, Wien Filter monochromator en
dc.title Theoretische und experimentelle Arbeiten zu Monochromatoren für die Elektronenmikroskopie de_DE
dc.title Theoretical and experimental investigations of monochromators for electron microscopy en
dc.type PhDThesis de_DE
dcterms.dateAccepted 2008-07-30 de_DE
utue.publikation.fachbereich Physik de_DE
utue.publikation.fakultaet 7 Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät de_DE
dcterms.DCMIType Text de_DE
utue.publikation.typ doctoralThesis de_DE
utue.opus.id 3586 de_DE
thesis.grantor 12/13 Fakultät für Mathematik und Physik de_DE

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