Inhaltszusammenfassung:
Der Einfluss des Farbfehlers auf die Auflösung heutiger Rasterelektronenmikroskope und Transmissionselektronenmikroskope kann mithilfe eines Monochromators für Elektronen verringert werden. Im ersten Teil der Arbeit werden Energiebreitenmessungen an einem elektrostatischen Monochromator, bestehend aus vier Halbkugelkondensatoren, vorgestellt. Bei einer Elektronenenergie von 3 keV gelingt es, die intrinsische Energiebreite eines ZrO/W-Schottky-Emitters von 0.7 eV auf 0.2 eV zu reduzieren. Im zweiten Teil der Arbeit wird ein neuartiger Monochromator vorgestellt. Er bestehend aus vier, teilweise gegeneinander verdreht arrangierten Wien-Filter-Elementen. Der Vorzug eines solchen Systems besteht in seiner geraden optischen Achse, welche die Justage des Systems erheblich erleichtert.