Aufbau, Charakterisierung und Optimierung eines optischen Sensorsystems zur reflektometrischen Interferenzspektroskopie mit mehrfarbigen Leuchtdioden

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dc.contributor.advisor Gauglitz, Günter de_DE
dc.contributor.author Reichl, Dieter de_DE
dc.date.accessioned 2000-07-03 de_DE
dc.date.accessioned 2014-03-18T10:08:21Z
dc.date.available 2000-07-03 de_DE
dc.date.available 2014-03-18T10:08:21Z
dc.date.issued 2000 de_DE
dc.identifier.other 085827673 de_DE
dc.identifier.uri http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:21-opus-1292 de_DE
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10900/48101
dc.description.abstract In der vorliegenden Arbeit wurde durch die Reduktion der Stützpunkteanzahl und den Einsatz voneinander unabhängiger Lichtquellen ein kompaktes Sensorsystem zur zeitaufgelösten Bestimmung der optischen Schichtdicke mittels Reflektometrischer Interferenzspektroskopie (RIfS) erfolgreich entwickelt, optimiert und eingesetzt. Daneben konnte durch die Detektion der Reflexionsspektren unter Totalreflexion die reflektierte Lichtintensität optimiert werden. Die Leistungsfähigkeit der entwickelten Systeme wurde anhand von Kalibrierungen in flüssiger und gasförmiger Phase gezeigt. de_DE
dc.description.abstract In this work a compact sensor system for the time-resolved detection of the optical thickness of thin films by reflectometric interference spectroscopy (RIfS) is presented. The use of discrete light sources with different wavelenghts allows the reduction of fulcrums for discribing the interference spectrum. The detection of the interference spectra under the condition of total reflection optimizes the intensity of the reflected light. The abilities of the systems discribed above are shown by calibrations in liquid and gaseous phase. en
dc.language.iso de de_DE
dc.publisher Universität Tübingen de_DE
dc.rights ubt-podno de_DE
dc.rights.uri http://tobias-lib.uni-tuebingen.de/doku/lic_ohne_pod.php?la=de de_DE
dc.rights.uri http://tobias-lib.uni-tuebingen.de/doku/lic_ohne_pod.php?la=en en
dc.subject.classification Sensor , Sensorsystem , Optischer Sensor de_DE
dc.subject.ddc 530 de_DE
dc.subject.other RIfS , Reflektometrische Interferenzspektroskopie de_DE
dc.subject.other RIfS , reflectometric interference spectroscopy en
dc.title Aufbau, Charakterisierung und Optimierung eines optischen Sensorsystems zur reflektometrischen Interferenzspektroskopie mit mehrfarbigen Leuchtdioden de_DE
dc.title Setup, characterisation and optimation of a optic sensor system by reflectometric interference spectroscopy with multicolored light emitting diodes en
dc.type PhDThesis de_DE
dc.date.updated 1970-01-01 de_DE
dcterms.dateAccepted 2000-06-07 de_DE
utue.publikation.fachbereich Sonstige - Chemie und Pharmazie de_DE
utue.publikation.fakultaet 7 Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät de_DE
dcterms.DCMIType Text de_DE
utue.publikation.typ doctoralThesis de_DE
utue.opus.id 129 de_DE
thesis.grantor 14 Fakultät für Chemie und Pharmazie de_DE

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