Aufbau, Charakterisierung und Optimierung eines optischen Sensorsystems zur reflektometrischen Interferenzspektroskopie mit mehrfarbigen Leuchtdioden

Abstract

In der vorliegenden Arbeit wurde durch die Reduktion der Stützpunkteanzahl und den Einsatz voneinander unabhängiger Lichtquellen ein kompaktes Sensorsystem zur zeitaufgelösten Bestimmung der optischen Schichtdicke mittels Reflektometrischer Interferenzspektroskopie (RIfS) erfolgreich entwickelt, optimiert und eingesetzt. Daneben konnte durch die Detektion der Reflexionsspektren unter Totalreflexion die reflektierte Lichtintensität optimiert werden. Die Leistungsfähigkeit der entwickelten Systeme wurde anhand von Kalibrierungen in flüssiger und gasförmiger Phase gezeigt.

In this work a compact sensor system for the time-resolved detection of the optical thickness of thin films by reflectometric interference spectroscopy (RIfS) is presented. The use of discrete light sources with different wavelenghts allows the reduction of fulcrums for discribing the interference spectrum. The detection of the interference spectra under the condition of total reflection optimizes the intensity of the reflected light. The abilities of the systems discribed above are shown by calibrations in liquid and gaseous phase.