Rapid Detection of Cleanliness on Direct Bonded Copper Substrate by Using UV Hyperspectral Imaging

DSpace Repositorium (Manakin basiert)

Rapid Detection of Cleanliness on Direct Bonded Copper Substrate by Using UV Hyperspectral Imaging

Autor(en): Knoblich, Mona; Al Ktash, Mohammad; Wackenhut, Frank; Englert, Tim; Stiedl, Jan; Wittel, Hilmar; Green, Simon; Jacob, Timo; Boldrini, Barbara; Ostertag, Edwin; Rebner, Karsten; Brecht, Marc
Tübinger Autor(en):
Knoblich, Mona
Al Ktash, Mohammad
Brecht, Marc
Erschienen in: Sensors (2024), Bd. 24, H. 14
Verlagsangabe: Basel : Mdpi
Sprache: Englisch
Referenz zum Volltext: http://dx.doi.org/10.3390/s24144680
ISSN: 1424-8220
DDC-Klassifikation: 540 - Chemie
600 - Technik
Dokumentart: Wissenschaftlicher Artikel
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