A comprehensive calibration of integrated magnetron sputtering and plasma enhanced chemical vapor deposition for rare-earth doped thin films
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Autor(en):
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Khatami, Zahra; Wolz, Lukas; Wojcik, Jacek; Mascher, Peter
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Tübinger Autor(en):
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Erschienen in:
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Journal of Materials Research
(2024), Bd.
39,
H.
1,
S.
150-164
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Verlagsangabe:
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Heidelberg : Springer Heidelberg
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Sprache:
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Englisch
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Referenz zum Volltext:
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http://dx.doi.org/10.1557/s43578-023-01207-2
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ISSN:
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0884-2914
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DDC-Klassifikation:
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600 - Technik
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Dokumentart:
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Wissenschaftlicher Artikel
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