FPGA-basierter Wafer-Level Test und Charakterisierungsmethoden für MEMS Beschleunigungssensoren

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dc.contributor Eberhard Karls Universität Tübingen de_DE
dc.contributor.author Baehr, Ulrich de_DE
dc.date.accessioned 2024-03-15T10:00:57Z
dc.date.available 2024-03-15T10:00:57Z
dc.date.issued 2023 de_DE
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10900/152022
dc.language.iso de
dc.publisher Tübingen de_DE
dc.relation.uri http://dx.doi.org/10.15496/publikation-92094 de_DE
dc.title FPGA-basierter Wafer-Level Test und Charakterisierungsmethoden für MEMS Beschleunigungssensoren de_DE
dc.type PhDThesis de_DE
utue.kommentar.intern Erscheint auch als Online-Ausgabe de_DE
utue.personen.roh Baehr, Ulrich de_DE
utue.publikation.seitengesamt XIII, 145 Seiten de_DE
utue.titel.verfasserangabe vorgelegt von Ulrich Baehr de_DE
utue.publikation.abrufzeichen tdis de_DE
utue.publikation.swbdatum 2402 de_DE
utue.publikation.fachbereich 57 de_DE
utue.publikation.fakultaet 7 de_DE
utue.artikel.ppn 1881438414 de_DE


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