UV Hyperspectral Imaging as Process Analytical Tool for the Characterization of Oxide Layers and Copper States on Direct Bonded Copper

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dc.contributor.author Al Ktash, Mohammad
dc.contributor.author Stefanakis, Mona
dc.contributor.author Brecht, Marc
dc.date.accessioned 2022-06-29T07:44:37Z
dc.date.available 2022-06-29T07:44:37Z
dc.date.issued 2021
dc.identifier.issn 1424-8220
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10900/128611
dc.language.iso en de_DE
dc.publisher Basel de_DE
dc.relation.uri http://dx.doi.org/10.3390/s21217332 de_DE
dc.subject.ddc 540 de_DE
dc.subject.ddc 600 de_DE
dc.title UV Hyperspectral Imaging as Process Analytical Tool for the Characterization of Oxide Layers and Copper States on Direct Bonded Copper de_DE
dc.type Article de_DE
utue.quellen.id 20220404000000_00650
utue.personen.roh Al Ktash, Mohammad
utue.personen.roh Stefanakis, Mona
utue.personen.roh Englert, Tim
utue.personen.roh Drechsel, Maryam S. L.
utue.personen.roh Stiedl, Jan
utue.personen.roh Green, Simon
utue.personen.roh Jacob, Timo
utue.personen.roh Boldrini, Barbara
utue.personen.roh Ostertag, Edwin
utue.personen.roh Rebner, Karsten
utue.personen.roh Brecht, Marc
dcterms.isPartOf.ZSTitelID Sensors de_DE
dcterms.isPartOf.ZS-Issue 21 de_DE
dcterms.isPartOf.ZS-Volume 21 de_DE
utue.fakultaet 07 Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät de_DE


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