Fabrication Process for Deep Submicron SQUID Circuits with Three Independent Niobium Layers

Autor(en):

Wolter, Silke; Linek, Julian; Altmann, Josepha; Weimann, Thomas; Bechstein, Sylke; Kleiner, Reinhold; Beyer, Jorn; Koelle, Dieter; Kieler, Oliver

Tübinger Autor(en):

Erschienen in:

Micromachines (2021), Bd. 12, Article 350

Verlagsangabe:

Mdpi

Sprache:

Englisch

Referenz zum Volltext:

ISSN:

2072-666X

DDC-Klassifikation:

530 - Physik
540 - Chemie
600 - Technik

Dokumentart:

Wissenschaftlicher Artikel

Das Dokument erscheint in: