Passivated electrode side walls by atomic layer deposition on flexible polyimide based samples

Autor(en):

Westerhausen, Markus; Martin, Tanja; Metzger, Michael; Blendinger, Felix; Fleischer, Monika; Hofmann, Boris; Bucher, Volker

Tübinger Autor(en):

Erschienen in:

Microelectronic Engineering (2020), Bd. 227, Article 111315

Verlagsangabe:

Elsevier

Sprache:

Englisch

Referenz zum Volltext:

ISSN:

1873-5568

DDC-Klassifikation:

530 - Physik
600 - Technik

Dokumentart:

Wissenschaftlicher Artikel

Das Dokument erscheint in: