Passivated electrode side walls by atomic layer deposition on flexible polyimide based samples

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Passivated electrode side walls by atomic layer deposition on flexible polyimide based samples

Autor(en): Westerhausen, Markus; Martin, Tanja; Metzger, Michael; Blendinger, Felix; Fleischer, Monika; Hofmann, Boris; Bucher, Volker
Tübinger Autor(en):
Westerhausen, Markus
Martin, Tanja
Blendinger, Felix
Fleischer, Monika
Erschienen in: Microelectronic Engineering (2020), Bd. 227, Article 111315
Verlagsangabe: Elsevier
Sprache: Englisch
Referenz zum Volltext: http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2020.111315
ISSN: 1873-5568
DDC-Klassifikation: 530 - Physik
600 - Technik
Dokumentart: Wissenschaftlicher Artikel
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