Frequency Induced Stiction for MEMS Accelerometers

DSpace Repositorium (Manakin basiert)

Zur Kurzanzeige

dc.contributor.author Rosenstiel, Wolfgang
dc.contributor.author Bringmann, Oliver
dc.date.accessioned 2020-08-28T09:45:21Z
dc.date.available 2020-08-28T09:45:21Z
dc.date.issued 2020
dc.identifier.issn 1941-0158
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10900/105822
dc.language.iso en en
dc.publisher IEEE - Inst Electrical Electronics Engineers Inc de_DE
dc.relation.uri http://dx.doi.org/10.1109/JMEMS.2020.2978879
dc.subject.ddc 600 de_DE
dc.subject.ddc 530 de_DE
dc.title Frequency Induced Stiction for MEMS Accelerometers de_DE
dc.type Article de_DE
utue.quellen.id 20200715072417_00245
utue.publikation.seiten 285-295 de_DE
utue.personen.roh Baehr, Ulrich
utue.personen.roh Freier, Marvin
utue.personen.roh Lewis, Matthew
utue.personen.roh Linck-Lescanne, Markus
utue.personen.roh Budak, Christian
utue.personen.roh Rosenstiel, Wolfgang
utue.personen.roh Bringmann, Oliver
dcterms.isPartOf.ZSTitelID Journal of Microelectromechanical Systems de_DE
dcterms.isPartOf.ZS-Issue 3 de_DE
dcterms.isPartOf.ZS-Volume 29 de_DE
utue.fakultaet Universität Tübingen (ohne Fakultätsangabe)


Dateien zu dieser Ressource

Dateien Größe Format Anzeige

Zu diesem Dokument gibt es keine Dateien.

Das Dokument erscheint in:

Zur Kurzanzeige