Frequency Induced Stiction for MEMS Accelerometers

Autor(en):

Baehr, Ulrich; Freier, Marvin; Lewis, Matthew; Linck-Lescanne, Markus; Budak, Christian; Rosenstiel, Wolfgang; Bringmann, Oliver

Tübinger Autor(en):

Erschienen in:

Journal of Microelectromechanical Systems (2020), Bd. 29, H. 3, S. 285-295

Verlagsangabe:

IEEE - Inst Electrical Electronics Engineers Inc

Sprache:

Englisch

Referenz zum Volltext:

ISSN:

1941-0158

DDC-Klassifikation:

600 - Technik
530 - Physik

Dokumentart:

Wissenschaftlicher Artikel

Das Dokument erscheint in: