Local functionalization of CMOS-compatible Si3N4 Mach-Zehnder interferometers with printable functional polymers

Autor(en):

Melnik, Eva; Muellner, Paul; Mutinati, Giorgio C.; Koppitsch, Guenther; Schrank, Franz; Hainberger, Rainer; Laemmerhofer, Michael

Tübinger Autor(en):

Erschienen in:

Sensors and Actuators B - Chemical (2016), Bd. 236, S. 1061-1068

Verlagsangabe:

Elsevier Science Sa

Sprache:

Englisch

Referenz zum Volltext:

ISSN:

0925-4005

DDC-Klassifikation:

540 - Chemie
600 - Technik

Dokumentart:

Wissenschaftlicher Artikel

Das Dokument erscheint in: