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| Autor(en): | Martina, M.; Fleischer, M.; Burkhardt, C. J. | |
| Tübinger Autor(en): |
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| Erschienen in: |
Microelectronic Engineering
(2017), Bd.
171,
S.
31-36 |
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| Verlagsangabe: | Elsevier Science Bv | |
| Sprache: | Englisch | |
| Referenz zum Volltext: | http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2017.01.033 | |
| ISSN: | 1873-5568 | |
| DDC-Klassifikation: |
530 - Physik 600 - Technik |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel | |
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