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| Autor(en): | Tanirah, Omar; Kern, Dieter P.; Fleischer, Monika | |
| Tübinger Autor(en): |
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| Erschienen in: |
Microelectronic Engineering
(2015), Bd.
141,
S.
215-218 |
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| Verlagsangabe: | Elsevier Science Bv | |
| Sprache: | Englisch | |
| Referenz zum Volltext: | http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2015.03.014 | |
| ISSN: | 0167-9317 | |
| DDC-Klassifikation: |
530 - Physik 600 - Technik |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel | |
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