Miniaturisierte elektrostatische Linsen aus konventionellen Blenden für die hochauflösende Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskopie

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dc.contributor.advisor Plies, Erich de_DE
dc.contributor.author Lutsch, Ramona Yvonne de_DE
dc.date.accessioned 2003-01-20 de_DE
dc.date.accessioned 2014-03-18T10:10:59Z
dc.date.available 2003-01-20 de_DE
dc.date.available 2014-03-18T10:10:59Z
dc.date.issued 2002 de_DE
dc.identifier.other 104056592 de_DE
dc.identifier.uri http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:21-opus-6804 de_DE
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10900/48438
dc.description.abstract In dieser Arbeit wurde untersucht, ob sich miniaturisierte elektrostatische Elektronenlinsen auf der Basis von konventionellen elektronenmikroskopischen Blenden eignen, um eine hochauflösende Elektronensonde zu erzeugen. Das elektronenoptische System wird gebildet aus einem Schottky-Emitter mit integrierter Extraktionsanode und einer Drei-Elektroden-Linse aus Platin-Blenden. Die Linse wurde hinsichtlich der Auflösung optimiert. Simulationen ergaben einen Sondendurchmesser von ca. 5 nm bei einer Strahlenergie von 1 keV und einem Arbeitsabstand von 1 mm. Sowohl Details zur Messung des Sondendurchmessers als auch spezifische Probleme, die während der Messung auftraten, werden präsentiert. Experimentell wurde ein Wert von 30 nm erreicht. de_DE
dc.description.abstract This thesis comprises the investigation of miniaturized electrostatic electron lenses based on conventional electron microscopical diaphragms to be suitable for the generation of a high-resolution electron probe. The electron optical column consists of a Schottky emitter with an integrated extraction anode and a miniaturized three electrode lens built of platinum apertures. The lens has been optimized with respect to resolution. Simulations indicate a probe diameter of about 5 nm at a beam energy of 1 keV and a working distance of 1 mm. Details on the measurement of the probe diameter and the hereby encountered problems are discussed. A value of 30 nm for the probe diameter has been achieved experimentally. en
dc.language.iso de_DE de_DE
dc.publisher Universität Tübingen de_DE
dc.rights ubt-podok de_DE
dc.rights.uri http://tobias-lib.uni-tuebingen.de/doku/lic_mit_pod.php?la=de de_DE
dc.rights.uri http://tobias-lib.uni-tuebingen.de/doku/lic_mit_pod.php?la=en en
dc.subject.classification Rasterelektronenmikroskopie , Elektronenoptik de_DE
dc.subject.ddc 530 de_DE
dc.subject.other Elektrostatische Linsen , Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskopie , Linsendesign de_DE
dc.subject.other electrostatic lenses , low-voltage scanning electron microscopy , electron optics , design of lenses en
dc.title Miniaturisierte elektrostatische Linsen aus konventionellen Blenden für die hochauflösende Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskopie de_DE
dc.title Miniaturised electrostatic lenses made of conventional apertures for high resolution low-voltage scanning electron microscopy en
dc.type Dissertation de_DE
dc.date.updated 1970-01-01 de_DE
dcterms.dateAccepted 2002-12-16 de_DE
utue.publikation.fachbereich Sonstige - Mathematik und Physik de_DE
utue.publikation.fakultaet 7 Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät de_DE
dcterms.DCMIType Text de_DE
utue.publikation.typ doctoralThesis de_DE
utue.opus.id 680 de_DE
thesis.grantor 12/13 Fakultät für Mathematik und Physik de_DE

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