An anisotropic dry etch process with fluorine chemistry to create well-defined titanium surfaces for biomedical studies

Autor(en):

Loeffler, R.; Fleischer, M.; Kern, D. P.

Tübinger Autor(en):

Erschienen in:

Microelectronic Engineering (2012), Bd. 97, S. 361-364

Verlagsangabe:

Elsevier Science Bv

Sprache:

Englisch

Referenz zum Volltext:

ISSN:

0167-9317

DDC-Klassifikation:

530 - Physik
600 - Technik

Dokumentart:

Wissenschaftlicher Artikel

Das Dokument erscheint in: