A Capacitive Humidity Sensor Suitable for CMOS Integration
Autor(en):
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Saeidi, Nooshin; Strutwolf, Joerg; Marechal, Amandine; Demosthenous, Andreas; Donaldson, Nick
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Tübinger Autor(en):
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Erschienen in:
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IEEE Sensors Journal
(2013), Bd.
13,
H.
11,
S.
4487-4495
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Verlagsangabe:
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IEEE - Inst Electrical Electronics Engineers Inc
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Sprache:
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Englisch
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Referenz zum Volltext:
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http://dx.doi.org/10.1109/JSEN.2013.2270105
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ISSN:
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1530-437X
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DDC-Klassifikation:
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600 - Technik 530 - Physik
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Dokumentart:
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Wissenschaftlicher Artikel
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