Metalloxid-Dünnfilme als Verschleißschutzschichten : Abscheidung, Nanohärte und Mikro- / Nanostruktur

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Metalloxid-Dünnfilme als Verschleißschutzschichten : Abscheidung, Nanohärte und Mikro- / Nanostruktur

Autor(en): Engelhart, Wolfgang
Tübinger Autor(en):
Engelhart, Wolfgang
Erscheinungsjahr: 2011
Sprache: Deutsch
Referenz zum Volltext: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:21-opus-58717
Dokumentart: Dissertation
Seitenzahl: 149 S. : Ill., graph. Darst.
Verbund-Nachweis: 357233786
357233719
Kommentar: Tübingen, Univ., Diss., 2011.
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