Metalloxid-Dünnfilme als Verschleißschutzschichten : Abscheidung, Nanohärte und Mikro- / Nanostruktur

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Metalloxid-Dünnfilme als Verschleißschutzschichten : Abscheidung, Nanohärte und Mikro- / Nanostruktur

Author: Engelhart, Wolfgang
Tübinger Autor(en):
Engelhart, Wolfgang
Issue year: 2011
Language: German
Full text: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:21-opus-58717
Dokumentart: Dissertation
Pages: 149 S. : Ill., graph. Darst.
Reference: 357233786
357233719
Note: Tübingen, Univ., Diss., 2011.
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