Functional oxide thin films for micromechanical and bioelectronic devices

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dc.contributor Eberhard Karls Universität Tübingen de_DE
dc.contributor.author Becker, Maximilian de_DE
dc.date.accessioned 2022-02-11T08:23:51Z
dc.date.available 2022-02-11T08:23:51Z
dc.date.issued 2021 de_DE
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10900/124414
dc.language.iso en
dc.publisher Tübingen de_DE
dc.relation.uri http://dx.doi.org/10.15496/publikation-64776 de_DE
dc.title Functional oxide thin films for micromechanical and bioelectronic devices de_DE
dc.type PhDThesis de_DE
utue.kommentar.intern Erscheint auch als Online-Ausgabe de_DE
utue.personen.roh Becker, Maximilian de_DE
utue.publikation.seitengesamt xi, 37 Seiten de_DE
utue.titel.verfasserangabe vorgelegt von Maximilian Thomas Becker aus Tübingen de_DE
utue.publikation.abrufzeichen tdis de_DE
utue.publikation.swbdatum 2201 de_DE
utue.publikation.fachbereich 43 de_DE
utue.publikation.fakultaet 7 de_DE
utue.artikel.ppn 1787198987 de_DE


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