Functional oxide thin films for micromechanical and bioelectronic devices

dc.contributor	Eberhard Karls Universität Tübingen	de_DE
dc.contributor.author	Becker, Maximilian	de_DE
dc.date.accessioned	2022-02-11T08:23:51Z
dc.date.available	2022-02-11T08:23:51Z
dc.date.issued	2021	de_DE
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10900/124414
dc.language.iso	en
dc.publisher	Tübingen	de_DE
dc.relation.uri	http://dx.doi.org/10.15496/publikation-64776	de_DE
dc.title	Functional oxide thin films for micromechanical and bioelectronic devices	de_DE
dc.type	PhDThesis	de_DE
utue.kommentar.intern	Erscheint auch als Online-Ausgabe	de_DE
utue.personen.roh	Becker, Maximilian	de_DE
utue.publikation.seitengesamt	xi, 37 Seiten	de_DE
utue.titel.verfasserangabe	vorgelegt von Maximilian Thomas Becker aus Tübingen	de_DE
utue.publikation.abrufzeichen	tdis	de_DE
utue.publikation.swbdatum	2201	de_DE
utue.publikation.fachbereich	43	de_DE
utue.publikation.fakultaet	7	de_DE
utue.artikel.ppn	1787198987	de_DE